RTTLIT E20微光显微分析系统(EMMI)

专业半导体器件漏电缺陷检测系统，高精度定位微弱漏电流信号

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技术规格

产品概述

RTTLIT E20 微光显微分析系统 (EMMI) 是专为半导体器件漏电缺陷检测而设计的高精度检测系统。该设备采用先进的 -80℃制冷 InGaAs 探测器和高分辨率显微物镜,具备超高的检测灵敏度，能够检测到器件在微弱漏电流信号下产生的极微弱的微光信号。
通过超高灵敏度成像，该设备能够快速定位和分析漏电缺陷，帮助工程师优化生产工艺，提高产品可靠性，为半导体器件的质量控制和失效分析提供安全可靠的解决方案。

  • 高精度检测
  • 快速定位分析
  • 工艺优化支持

核心优势

RTTLIT E20微光显微分析系统采用业界领先技术，为您提供卓越的检测体验

高灵敏度探测器

采用 -80°C制冷型 InGaAs 探测器，能够捕捉极微弱的光信号，提供超高灵敏度检测能力

高分辨率成像

配备高精度显微物镜系统，实现亚微米级分辨率，精确定位漏电缺陷位置

智能分析系统

内置先进的数据处理算法，自动识别缺陷特征。

产品特点

  • 超高灵敏度检测:采用-80°C制冷型 InGaAs 探测器，能够检测到极微弱的微光信号，灵敏度远超普通检测设备。
  • 高分辨率成像:配备高精度显微物镜系统，实现亚微米级分辨率，精确定位漏电缺陷位置。
  • 精确温度控制:配备高精度温度控制系统，确保探测器在最佳工作温度下运行，提高检测稳定性。
  • 智能分析系统:内置先进的数据处理算法，自动识别缺陷特征。
  • 操作便捷:人性化操作界面，简单易用，无需专业培训即可快速上手。
  • 数据管理:完善的数据存储和管理系统，支持历史数据查询和比对分析。
EMMI检测效果图:显示半导体器件漏电缺陷位置(亮点区域)

产品特点

  • 超高灵敏度检测:采用-80°C制冷型 InGaAs 探测器，能够检测到极微弱的微光信号，灵敏度远超普通检测设备。
  • 高分辨率成像:配备高精度显微物镜系统，实现微米级分辨率，精确定位漏电缺陷位置。
  • 精确温度控制:配备高精度温度控制系统，确保探测器在最佳工作温度下运行，提高检测稳定性。
  • 智能分析系统:内置先进的数据处理算法，自动识别缺陷特征。
  • 操作便捷:人性化操作界面，简单易用，无需专业培训即可快速上手。
  • 数据管理:完善的数据存储和管理系统，支持历史数据查询和比对分析。

产品特点

  • 超高灵敏度检测:采用-80°C制冷型 InGaAs 探测器，能够检测到极微弱的微光信号，灵敏度远超普通检测设备。
  • 高分辨率成像:配备高精度显微物镜系统，实现微米级分辨率，精确定位漏电缺陷位置。
  • 精确温度控制:配备高精度温度控制系统，确保探测器在最佳工作温度下运行，提高检测稳定性。
  • 智能分析系统:内置先进的数据处理算法，自动识别缺陷特征。
  • 操作便捷:人性化操作界面，简单易用，无需专业培训即可快速上手。
  • 数据管理:完善的数据存储和管理系统，支持历史数据查询和比对分析。

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    江苏省苏州市虎丘区枫桥街道创捷产业园E-1001-1004 实验室:E-105-107
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