Micro IR 热红外测温显微镜

热红外测温显微镜面向微器件热分布测量、微区温度分析及热失效定位等应用场景。Micro IR10 采用非制冷长波红外探测技术，最高空间分辨率可达 5 μm，兼具高灵敏度与高性价比，适用于常规显微热成像及微器件热分布测量。

Micro IR20 采用制冷型中波红外探测技术，最高空间分辨率可达 2 μm，开窗模式下帧频最高可达 4000 Hz，适用于高分辨率成像、瞬态温度变化捕捉及复杂微结构热行为分析。系统内置发射率校正与发射率测量功能，可实现显微样品真实温度分布的精准测量。